মেঝেতে, যখন RTP হিটারটি কাজ করা বন্ধ করে দেয়, তখন প্রক্রিয়াটি থেমে যায়। সামান্য ভুলও ফটোরেজিস্টের গুণমানকে প্রভাবিত করে। অতিরিক্ত উষ্ণতা বা শীতলতার কারণে CD-এর নিয়ন্ত্রণ কঠিন হয়ে যায়। এর ফলে অপ্রয়োজনীয় পণ্য তৈরি হয়, পুনরায় কাজ করতে হয়; আর থার্মাল ব্যয়ও বেড়ে যায়।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা RTP হিটারটিকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে পুরো প্রক্রিয়াটিতে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। হ্যালোজেন শর্ট-ওয়েভ ল্যাম্পগুলো দ্রুত ও নির্ভুলভাবে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে ফটোরেজিস্টের গুণমান ঠিক থাকে। কোয়ার্টজ উপাদান ও কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদানগুলো ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমগুলোতে কণার সংখ্যাকে স্থিতিশীল রাখে। কার্বন ফাইবার ইনসুলেশনগুলো থার্মাল মাস বাড়ায় না; ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়। এটা স্ট্যান্ডার্ডাইজড কানেক্টরের মাধ্যমে চেম্বার ও কন্ট্রোলারের সাথে সংযুক্ত হয়; ফলে থার্মাল প্রোফাইলটি নির্ধারিত নিয়ম অনুসারেই থাকে।
লিথোগ্রাফি ও ইটিচিং প্রক্রিয়ায় এটা কেন কার্যকর?
তাপমাত্রা হলো এমন একটি প্যারামিটার যা প্রক্রিয়া শেষ হওয়ার পর মাপা যায় না। এই হিটারটির সাহায্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সম্ভব হয়; ফলে CD-এর গুণমান উন্নত হয়। প্রতিটি লটের মধ্যে পুনরাবৃত্তি সম্ভব হয়; ফলে প্রক্রিয়াটি দ্রুত সম্পন্ন হয়। এই সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজ করতে পারে; ল্যাম্পগুলোর জীবনকাল ৫,০০০+ ঘন্টা হয়। ফলে রিজার্ভ ল্যাম্পের প্রয়োজন কমে যায়, রক্ষণাবেক্ষণের খরচও কমে যায়।
ইনস্টলেশন প্রক্রিয়া:
ইনস্টলেশনের সময় চেম্বারের জ্যামিতিক গঠন ও ল্যাম্পগুলোর অবস্থান যাচাই করা প্রয়োজন। সামান্য ভুলও ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে। ফটোরেজিস্টের জন্য র্যাম্প রেট ও সোকিং টাইম ঠিক করার জন্য একটি ছোট পরীক্ষা করা প্রয়োজন। ±0.1°C তাপমাত্রা বজায় রাখতে চিলারগুলোর সাথে ভালো সমন্বয় প্রয়োজন। আমরা ইন্টারফেস ড্রয়িং ও থার্মাল ম্যাপিং ডেটা সরবরাহ করি; ফলে ইনস্টলেশনটি সহজ হয়ে যায়।