http://ir-heat-co.com/cs/tags/soft/ Recent content in Soft on The Infrared Heating Company Hugo cs Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampa na jemné zahřívání fotorezistoru"></p> <p>V prostředí lithografie byste neměli považovat proces měkkého zahřívání za pouhou pří<a href="https://o-yate.net">pravnou</a> fázi. Jde o tepelný krok, který zajišťuje konzistentní obsah rozpouštědla v fotorezistu a zvyšuje jeho přilnavost k povrchu waferu. I drobná odchylka o 1 °C v teplotě waferu – nebo chladná oblast na povrchu waferu – může vést ke ztrátě kontroly nad rozměry waferu. Zvýší se tak nerovnosti v tloušťce vrstvy fotorezistu a objeví se defekty.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Používáme lampy s infračerveným zářením pro proces měkkého zahřívání, protože umožňují dosáhnout podmillimetrové úrovně rovnoměrnosti v tepelném poli. Geometrie emitorů a reflektorů je navržena tak, aby tepelný profil odpovídal tvaru waferu, a ne topnému zařízení. Na povrchu waferu lze udržet rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Opakovatelnost procesu zůstává vysoká, protože výkon lampy je stabilní a tepelný profil je reprodukovatelný.</p>