http://ir-heat-co.com/cs/tags/tepeln%C3%BD/ Recent content in Tepelný on The Infrared Heating Company Hugo cs Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/cs/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/cs/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Rychlé tepelně zpracovatelské (RTP) lampy"></p> <p>Na výrobní podlaze je 300mm wafer naplněn tisíci die a termální rozpočet je posvátný. Odchylka 2 °C během měkkého pečení fotoresistu nebo spike annealu může zafixovat vadu přímo do vzoru, narušit uniformitu CD a zničit spoustu kvalitních die. Spoléháme na systémy lamp pro rychlé termální zpracování (RTP), abychom tomu zabránili, s opakovatelnou kontrolou teploty na úrovni waferu.</p> <p><strong>Co je skutečně důležité pod pokličkou</strong><br> Používáme krátkovlnné halogenové lampy v uzavřeném pyrometrickém uspořádání. To nám poskytuje reakční dobu v milisekundách a těsnou teplotní uniformitu po celém waferu—typicky ±0,1 °C. Křemenné komponenty a nízkouhlíkové upevnění udržují počet částic na nízké úrovni, což je potřeba pro čisté prostory třídy 1–100. Výhodou je předvídatelné spojení energie do zásobníku, ať už provádíte tvrdé pečení fotoresistu nebo spike anneal, s minimálním termálním překročením. Procesní okno se rozšiřuje a opakovatelnost cyklu se zlepšuje.</p>