Die richtige Temperatur in einer modernen Fertigungsanlage erreichen
Wenn Sie eine intelligente Fertigungsanlage bauen, wissen Sie, dass die Automatisierung nur die Hälfte des Problems ist. Das eigentliche Problem ist die Wärme. Man benötigt eine Wärmequelle, die auf die Befehle der digitalen Steuerungen reagiert – ohne dabei Widerstand zu leisten.
Deshalb verwenden die meisten von uns kurzwelliges Infrarotlicht. Dadurch wird die Energie direkt an das Wafer übertragen – ohne dass Zeit mit dem Erwärmen der umliegenden Luft verschwendet wird.
Das Gleichgewicht zwischen Entfernung und Dichte
Hier liegt das Schwierige: Wo genau sollen die Lampen angebracht werden? Wenn man sie zu nah platziert, entstehen „heiße Stellen“ auf dem Wafer – was für die Qualitätssicherung ein Albtraum ist. Wenn man sie hingegen zu weit entfernt platziert, werden nur die Wände der Kammer erhitzt – was wiederum Energieverschwendung bedeutet.
Wir investieren viel Zeit darauf, die richtige Entfernung zwischen den Lampen und dem Wafer festzulegen – in Abhängigkeit von der Leistung und der gewünschten Temperatur. Hochdichte Anordnungen sind ideal, denn sie können schnell reagieren. Achten Sie jedoch darauf, dass Ihre Kühlsysteme damit zurechtkommen – sonst könnten die Lampen beschädigt werden.
Ihre Heizgeräte „intelligent“ machen
In einer modernen Anlage kann man nicht einfach nur einen Regler einstellen und darauf hoffen, dass alles gut geht. Man muss genau wissen, wohin jede Wattstrecke fließt. Wir verbinden diese IR-Systeme direkt mit den PLC-Schaltkreisen, sodass sie sich in Echtzeit anpassen können. Durch Sensoren, die sofort reagieren, kann das System thermische Probleme bereits im Vorfeld erkennen. Damit wird aus einem einfachen Heizgerät ein intelligentes Gerät, das Ihnen in Echtzeit mitteilt, was vor sich geht.
Die Kompromisse, die Sie kennen müssen
Bessere Effizienz bedeutet in der Regel eine höhere Leistungsdichte. Das setzt jedoch viel Belastung auf Ihre Ausrüstung. Wenn Ihre Verkabelung nicht für diese Anfangsspitzen ausgelegt ist, werden Ihre elektrischen Anlagen Schaden nehmen. Sie erhalten zwar die gewünschte Leistung, doch die Stromstabilität in Ihrer Anlage muss absolut zuverlässig sein.
Ein Rat: Geben Sie Ihren Heizsystemen eigene Stromkreise. So vermeiden Sie, dass elektromagnetische Störungen Ihre empfindlichen Messgeräte beeinträchtigen. Es handelt sich dabei um eine kleine Änderung – doch sie spart Ihnen später viel Ärger.