Die Aufrechterhaltung der Sauberkeit: Die Wahrheit über UHP-Kvartslampen
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie die Herausforderungen darin bereits. Es geht nicht nur um die Luftfilter – das eigentliche Problem sind die Stoffe, die man nicht direkt sehen kann. Herkömmliche Heizelemente neigen dazu, winzige Partikel abzugeben. Wenn das passiert, sind Ihre Wafer sowie die hochpräzisen Optiken ruiniert.
Deshalb verwenden wir für unsere Lampen synthetischen Quarz mit ultrahoher Reinheit.
Das Material ist entscheidend.
Der größte Teil des Quarzes enthält geringe Mengen an metallischen Verunreinigungen. Wenn es heiß wird, wandern diese Verunreinigungen an die Oberfläche. Das führt dazu, dass auf den Substraten „Schnee“ entsteht – was eine Katastrophe ist. Wir verwenden daher hochreines geschmolzenes Silizium, um das zu verhindern. Keine Partikelabgabe, keine chemische Kontamination – nur saubere Wärme.
Über die Leistung der Lampen
Diese Lampen sind so konzipiert, dass sie schnell hohe Temperaturen erreichen können. Die Filamente sind so ausgelegt, dass sie unter hohem Spannungsniveau nicht nachgeben. Dadurch bleibt die Wärme gleichmäßig im ganzen Lampendurchmesser verteilt.
Aber hier liegt das Problem: Eine solche Energiedichte bedeutet auch hohe Belastungen für die Stromversorgung. Überprüfen Sie unbedingt Ihr Stromverteilersystem, damit es die zusätzlichen Ströme bewältigen kann, wenn die Lampen eingeschaltet werden.
Installation der Lampen
Wir verwenden Anschlüsse vom Typ R7 oder Sk15. Warum? Weil sie fest sitzen. Eine lockere Verbindung führt zu Entladungen, und dadurch entsteht Metalloxidstaub. In einem Reinraum ist das das Letzte, was man haben möchte. Die Lampen sind praktisch „Plug-and-Play“ – Sie können sie einfach in Ihre bestehenden Anlagen einbauen, ohne Probleme.
Ein paar Warnungen
UHP-Kvartskristalle sind etwas brüchiger als das herkömmliche Glas, an das Sie vielleicht gewöhnt sind. Sie sind also empfindlich. Tun Sie auf keinen Fall nichts mit bloßen Händen – die Öle in Ihrer Haut können dazu führen, dass die Lampen viel früher kaputtgehen. Nehmen Sie vor der Installation Handschuhe sowie fusselfreie Tücher zur Hand. So schützen Sie Ihren Reinraum – und Ihren Budget.