Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von einem halben Grad während des Weichbrennvorgangs oder des Hartebrennvorgangs keine Zahl in einer...

In der Lithografie-Produktion kann das Polyimid-Fotolack keine solche Temperaturkontrolle ertragen wie die, die mit herkömmlichen Lampen erreicht...

Im Bereich der Lithografie sollte die Soft-Bake-Prozedur nicht als bloße Aufwärmphase betrachtet werden. Es handelt sich dabei um einen thermischen...

On the fab floor ist das Backen eines E-Beam-Resists keine Aufwärmphase. Es ist ein Prozessanker. Weicht die Temperatur am Hotplate um 2°C ab,...