Fehlerbehebung beim Heizer des RTP Systems

Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800

Auf dem Boden des Ofens: Wenn der RTP-Heizer anfängt, von seiner optimalen Temperatur abzuweichen, bleibt der Prozess weiterhin in Bewegung. Eine zu sanfte oder zu starke Erhitzung verfälscht das Profil des Photoresists. Eine zu hohe oder zu niedrige Temperatur macht die Kontrolle über die CD-Gleichmäßigkeit zu einer Herausforderung. Die Folgen sind Ausschussprodukte, Nacharbeiten sowie ein Energieverbrauch, den man nicht wieder zurückgewinnen kann.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben den RTP-Heizer so konstruiert, dass eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über den gesamten Prozess hinweg gewährleistet wird. Halogen-Shortwave-Lampen ermöglichen schnelle, reproduzierbare Erhitzungsprozesse mit präziser Kontrolle der Temperatur – dadurch bleibt das Profil des Photoresists intakt. Das Quarzgehäuse sowie materialien mit geringem Ausdünstungsverhalten sorgen dafür, dass die Partikelzahl in Reinräumen der Klasse 1–100 konstant bleibt. Die Kohlenstofffaserverstärkung reduziert den Energieverbrauch, ohne zusätzliche Wärmemassen hinzuzufügen. Der Heizer kann durch standardisierte Anschlüsse in bestehende Öfen und Steuerungen eingebaut werden – somit folgt das thermische Profil den Vorgaben, und nicht umgekehrt.

Fehlerbehebung on The Infrared Heating Company

Fehlerbehebung beim Heizer des RTP Systems