Polyimide Bäckofen Infrarotlampe

Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800

In der Lithografie-Produktion kann das Polyimid-Fotolack keine solche Temperaturkontrolle ertragen wie die, die mit herkömmlichen Lampen erreicht werden kann. Eine sanfte Erhitzung – selbst wenn sie nur um halbe Grad abweicht – führt zu einer ungleichmäßigen Dicke des Fotolacks. Eine zu starke Erhitzung wiederum hinterlässt nach dem Ätzen Rückstände. Was man braucht, ist eine zuverlässige Temperaturkontrolle – eine schnelle Erhitzung, hohe Wiederholgenauigkeit sowie Hardware, die in einer Reinraumumgebung funktioniert, ohne Partikel in den Produktionsprozess einzubringen.

Unsere Infrarotlampen für die Erhitzung von Polyimid nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahler, die auf die Absorptionseigenschaften von Polyimid abgestimmt sind. Dadurch wird eine schnelle, kontaktlose Erhitzung ohne hohe thermische Trägheit erreicht. Die Homogenität auf Waferebene liegt bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen verschiedenen Chargen beträgt ±0,2 °C. Diese Lampen arbeiten in Reinräumen der Klasse 1–100, wobei keine Partikel entstehen. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden stabil – mit weniger als 5 % Abfall. Das System ist außerdem für einen 24/7-Betrieb konzipiert, wobei die Temperatur kontrolliert abgesenkt wird, um das thermische Gleichgewicht zu bewahren.

Polyimid on The Infrared Heating Company

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