Warum Infrarotheizung gegenüber Heißluftheizung besser ist für die Verarbeitung von Wafern Falls Sie darüber nachdenken, von der Heißluftverteilung...

Bei einer Linienlänge von 300 mm ist das thermische Budget keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine Grenze, die unbedingt eingehalten werden...