Thermoelement für Halbleiterheizer

Wed, 22 Jul 2026 04:30:23 +0800

Sicherheit Ihrer IR-Heizgeräte bei chemischer Reinigung
Seien wir ehrlich: Die Verwendung von Infrarotlampen in Solvenzbaden zur Reinigung von Halbleitern ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer. Es geht dabei um Dämpfe, die leicht explodieren können. Schon eine kleine Funke oder ein undichter Verschluss kann zu einer Katastrophe führen.
Wir wollen dieses Risiko nicht eingehen. Anstelle von offenen Heizelementen verwenden wir stattdessen luftdichte Abdichtungen.
Das Geheimnis liegt in der Hülle.
Wir legen das Heizelement sowie den Thermoelement in eine Hülle aus hochreinem Quarz oder Keramik und verschließen diese anschließend mit einem chemikalienresistenten Flansch. Das ist wie eine Rüstung – sie hält die elektrische Energie fern von den aggressiven Chemikalien und verhindert, dass korrosive Gase Ihre Leitungen zerstören.
Falls die Abdichtung doch versagt, geht die Lampe in der Regel schnell kaputt. Um das zu verhindern, verwenden wir vakuumdichte Abdichtungen, sodass das Innere vollständig inert bleibt.
Die richtige Temperatur einstellen.
In der Welt der Halbleiter reicht „nachlässig genau“ nicht aus – es braucht Präzision. Deshalb integrieren wir das Thermoelement direkt in das Heizelement. Dadurch entfällt die Zeitverzögerung bei der Temperaturerhöhung. Da der Sensor direkt neben dem Filament sitzt, kann man sofort erkennen, was mit dem Wärmefluss passiert.
Wir verwenden in der Regel Sensoren vom Typ K oder J, je nachdem, wie heiß die Lampe arbeiten soll. Doch wichtig ist auch, dass wir die Leitungen schützen. Hochleistungs-Lampen erzeugen viel elektrisches Rauschen – das möchten wir auf keinen Fall, dass es Ihren PID-Controller beeinträchtigt.
Kompromisse.
Diese Art der Abschirmung hat allerdings auch Nachteile. Die ganze Abschirmung erhöht das Gewicht des Geräts. Es dauert daher länger, bis die Temperatur erreicht wird. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung stark genug ist, um diese Verzögerung auszugleichen.
Achten Sie außerdem auf die Dichtungen der Flansche. Selbst die widerstandsfähigsten Dichtungen werden nach tausenden Stunden im Umgang mit aggressiven Lösungsmitteln irgendwann versagen.
Tipp: Wenn der Quarz trüb wird, warten Sie nicht – ersetzen Sie das Gerät sofort, bevor die Abdichtung versagt.

Thermoelement on The Infrared Heating Company

Thermoelement für Halbleiterheizer