در خطوط تولیدی با طول ۳۰۰ میلیمتر، بودجه حرارتی چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه این محدودیتی است که نباید از آن تخطی کرد. اگر دمای حرارتی نیم درجه تغییر کند، این تغییر در پروفایل فوتورزیست مشهود خواهد بود. اگر دمای حرارتی به مقدار مورد نظر نرسد، پس از فرآیند توسعه، لایههای اضافی روی سطح ویفر ایجاد خواهد شد. ما این گرمکنها را برای مقابله با چنین شرایطی طراحی کردهایم؛ زیرا در کارخانههای تولید، هر دقیقه توقف غیرمنتظره، منجر به کاهش بازدهی تولید میشود.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما توانایی حفظ یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، در کل محدوده دمایی مورد نیاز، حفظ میکنیم. همچنین، نرخ تغییر دما نیز به گونهای است که پروفایل حرارتی در کنترل باشد. این دستگاهها از الکترومغناطیسهای موج کوتاه مادون قرمز استفاده میکنند؛ بنابراین هیچ ذرهای وارد سیستم نمیشود. تعداد ذرات موجود در اتاق تمیز نیز در محدوده کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند.
قابلیت تکرارپذیری نیز در سیستم کنترلی این دستگاهها وجود دارد؛ یعنی با همان مقادیر تنظیماتی، پروفایل حرارتی در هر بار تولید یکسان خواهد بود.
چرا این دستگاهها در فرآیندهای لیتوگرافی مؤثر هستند؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، یکنواختی حرارتی در طول فرآیند تولید، موجب کنترل دقیق ابعاد و زوایای مربوط به سطح ویفر میشود. این گرمکنها میتوانند مقادیر تنظیماتی را در شرایط کاری ۷×۲۴ ساعته حفظ کنند؛ همچنین، در طول سالهای متمادی استفاده، هیچ توقف غیرمنتظرهای رخ نداده است.
این امر منجر به کاهش تعداد ویفرهای باکیفیت پایین، کاهش تعداد مراحل بازسازی، و کاهش تغییرات در زمان تولید میشود. طراحی این دستگاهها به گونهای است که استفاده از انرژی کاهش یابد، بدون اینکه پاسخ دمایی آنها تحت تأثیر قرار بگیرد.
چند نکته عملی: این دستگاهها را میتوان در سیستمهای استاندارد استفاده کرد؛ اما باید انطباق حرارتی آنها با سطح صفحه کار و واسطههای مکانیکی دستگاه، بررسی شود. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا ثابتهای PID برای دستگاه مورد نظر تنظیم شوند.
پس از تنظیم این ثابتها، فرآیند تولید در حالت ثابت باقی خواهد ماند.