بهرهبرداری حداکثری از فرآیند خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، هدف ساده است: انتقال حداکثر مقدار گرما به سطح ویفر. شما نمیخواهید حتی یک وات انرژی را صرف گرم کردن بدنه دستگاه کنید. به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این بازتابندهها تشعشعات مادون قرمز را جذب کرده و آنها را دوباره به جای مناسب خود هدایت میکنند.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
شاید فکر کنید که آلومینیوم صیقلی نیز میتواند این کار را انجام دهد؛ اما این روش در مقابل تشعشعات مادون قرمز با طول موج بلند، کارایی لازم را ندارد. طلا اما میتواند تشعشعات مادون قرمز را در تمام بازههای طول موجی منعکس کند. در واقع، فوتونهای بیشتری به سمت ویفر بازمیگردند؛ این امر باعث میشود که نیازی به استفاده از توان بالا برای رسیدن به دمای مورد نظر نباشد. این موضوع هم برای صرفهجویی در هزینهها و هم برای حفظ کارایی دستگاه مفید است.
شکل بازتابندهها نیز مهم است
بازتابندهها را باید به عنوان ابزاری برای هدایت گرما در نظر گرفت، نه فقط به عنوان آینه. ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی میکنیم که گرما به نقاط مشخصی روی ویفر منتقل شود. این کار باعث میشود که «نقاط سرد» از بین بروند و گرما به طور یکنواخت توزیع شود. اگر شکل بازتابندهها کمی اشتباه باشد، گرادیانهای حرارتی ایجاد میشود؛ و این موضوع معمولاً باعث اختلال در فرآیند خشک کردن ویفر میشود.
معایب استفاده از طلا
طلا البته یک ماده عالی برای انتقال گرماست، اما نرم است. لطفاً از پدهای ساینده یا مواد شیمیایی خشن برای تمیز کردن آن استفاده نکنید؛ این کار باعث از بین رفتن لایه روی طلا و کاهش کارایی دستگاه میشود. از حلالهای مناسب برای تمیز کردن آن استفاده کنید. همچنین، این بازتابندهها فشار بیشتری روی براکتهای نگهدارنده لامپ ایجاد میکنند. حتماً مطمئن شوید که فنهای خنککننده دستگاه کارایی لازم را دارند؛ در غیر این صورت، لامپ خیلی زود خراب خواهد شد. با تنظیم صحیح جریان هوا، میتوانید زمان انجام فرآیند خشک کردن را کاهش دهید و هزینههایتان را نیز کم کنید.