در فرآیند لیتوگرافی، رزیست پلیایمید نمیتواند تحت کنترل حرارتی مشابه آنچه با استفاده از لامپهای معمولی امکانپذیر است، قرار بگیرد. گرمایش خفیف، حتی در مقدار نیم درجه، باعث افزایش ضخامت رزیست میشود؛ در حالی که گرمایش شدید نیز باعث ایجاد لکههایی پس از فرآیند اتاقهکردن میشود. آنچه که مورد نیاز است، گرمایی است که قابل پیشبینی باشد؛ یعنی گرمایش سریع و با قابلیت تکرار بالا، همراه با سختافزاری که در محیطهای تمیز عمل کند و هیچ ذرهای را به محیط اضافه نکند.
لامپهای مادونقرمزی که برای گرمایش پلیایمید استفاده میشوند، از منابع تابش موج کوتاه NIR استفاده میکنند؛ این امر باعث گرمایش سریع و بدون تماس میشود. در نتیجه، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰٫۱ درجه است، و قابلیت تکرار بین دو بار اتاقهکردن نیز در حد ±۰٫۲ درجه باقی میماند. این لامپها در محیطهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ کار میکنند و هیچ ذرهای تولید نمیکنند؛ این موضوع نیز به صورت مستقیم بررسی شده است. خروجی این لامپها در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ همچنین این سیستم برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است و سیستم خنککننده آن نیز به گونهای است که تعادل حرارتی حفظ شود.
وقتی که خط تولید در حال کار است، چه اتفاقی میافتد؟ کنترل دقیقتر بر ابعاد حیاتی محصولات به دست میآید، و تعداد محصولاتی که نیاز به بازسازی دارند، کاهش مییابد. فرآیند گرمایش خفیف در عرض چند ثانیه انجام میشود، و حذف حلالها نیز قابل پیشبینی است. گرمایش شدید نیز باعث ایجاد تراکم مناسبی از پیوندهای شیمیایی میشود؛ در نتیجه، تنشهای باقیمانده کاهش مییابد و خطر فروپاشی الگوها نیز کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا انرژی مستقیماً به رزیست منتقل میشود، نه به گرم کردن محفظه. در نتیجه، الگوهای اتاقهکردن یکنواخت میشوند، میزان محصولات اضافی کاهش مییابد، و برنامههای تولیدی نیز قابل اجرا خواهند بود.
قبل از تعیین مشخصات این لامپها، چند نکته عملی وجود دارد: نصب لامپها به این معناست که اندازه لامپ و رابطه نوری آن با سیستم گرمایشی، باید منطبق با شرایط محیط تولید باشد. فرآیند راهاندازی لامپها کوتاه است، اما باید سرعت گرمایش و میزان گرمای اضافی را برای نوع خاص رزیست تنظیم کرد. از آنجایی که شدت تابش NIR با فاصله تغییر میکند، باید فاصله لامپ از سطح رزیست در محدوده مشخصی نگه داشته شود؛ در غیر این صورت، یکنواختی و قابلیت تکرار کاهش مییابد. برای حفظ یکنواختی، باید به طور دورهای لامپها را کالیبره کرد و از روشهای مناسب برای نگهداری آنها در محیطهای تمیز استفاده کرد.