در فرآیند لیتوگرافی، اختلاف نیم درجه‌ای در دما در حین فرآیندهای حرارتی، مشکلاتی را ایجاد می‌کند؛ این اختلافات در قالب تغییرات در ضخامت لایه‌های...

در فرآیند لیتوگرافی، نباید از روش «خشک‌کردن ملایم» به عنوان یک مرحله آماده‌سازی استفاده کرد؛ زیرا این روش در واقع یک مرحله حرارتی است که باعث تثبیت...