http://ir-heat-co.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on The Infrared Heating Company Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 08:35:13 +0800 http://ir-heat-co.com/fa/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:35:13 +0800 http://ir-heat-co.com/fa/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="لامپ پخت رزیست فتوژنیک"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، اختلاف نیم درجه‌ای در دما در حین فرآیندهای حرارتی، مشکلاتی را ایجاد می‌کند؛ این اختلافات در قالب تغییرات در ضخامت لایه‌های فوتورزیست، کاهش چسبندگی لایه‌ها و کاهش بازدهی پس از فرآیند اچینگ مشهود می‌شوند. ما لامپ‌های مورد استفاده برای حرارت دادن فوتورزیست را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که این تغییرات را کاهش دهند؛ در نتیجه، فرآیند در تمام مراحل، به خوبی انجام می‌شود.</p> <p><strong>چه چیزهایی در این فرآیند اهمیت دارد؟</strong> ما از منابع نوری نور مرئی با کنترل طیفی دقیق استفاده می‌کنیم تا فوتورزیست را مستقیماً گرم کنیم؛ این کار باعث کاهش تأخیر در گرم شدن سطح فوتورزیست و در نتیجه، پاسخ حرارتی سریع‌تر و بهتری می‌شود. در کل منطقه حرارتی، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود؛ همچنین، تکرارپذیری این فرآیند در هزاران بار انجام، در همان محدوده باقی می‌ماند. این دستگاه برای استفاده در اتاق‌های تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، ما اطمینان حاصل می‌کنیم که هیچ ذره‌ای در نقاط تماس ایجاد نشود. این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ دستگاه‌های موجود می‌توانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه عملکردشان تحت تأثیر قرار بگیرد.</p> http://ir-heat-co.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:37 +0800 http://ir-heat-co.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="لامپ پخت ملایم فوتورزیست"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، نباید از روش «خشک‌کردن ملایم» به عنوان یک مرحله آماده‌سازی استفاده کرد؛ زیرا این روش در واقع یک مرحله حرارتی است که باعث تثبیت میزان حلال موجود در سطح ویفر و همچنین تقویت چسبندگی فوتورزیست می‌شود. اگر دمای ویفر ۱ درجه سانتی‌گراد تغییر کند، یا در نقاط خاصی از سطح ویفر دما پایین‌تر باشد، کنترل ابعادی ویفر دچار مشکل خواهد شد؛ همچنین، ضخامت خطوط روی ویفر نیز افزایش خواهد یافت و نقص‌هایی نیز ایجاد خواهد شد.</p>