http://ir-heat-co.com/fa/tags/system/ Recent content in System on The Infrared Heating Company Hugo fa Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/fa/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/fa/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="رفع مشکلات گرمکن سیستم RTP"></p> <p>روی کف، هنگامی که گرمکن RTP شروع به کار می‌کند، مواد مورد استفاده در فرآیند لیتوگرافی نیز در حال حرکت هستند. گرمایش ضعیف یا نامناسب، باعث اختلال در پروفایل فوتورزیست می‌شود؛ در حالی که گرمایش بیش از حد یا کمتر از حد، کنترل CD را دشوار می‌کند. پیامدهای این امر، تولید محصولات نامرغوب، نیاز به بازسازی، و هزینه‌های اضافی برای جبران این اختلالات است.</p> <p><strong>آنچه واقعاً اهمیت دارد</strong><br> ما گرمکن RTP را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که یکنواختی دما در سطح ویفر، در طول کل فرآیند، حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باشد. لامپ‌های هالوژنی با طول موج کوتاه، باعث ایجاد سرعت بالا و قابلیت تکرار در فرآیند گرمایش می‌شوند؛ در نتیجه پروفایل فوتورزیست حفظ می‌شود. ساختار کوارتزی و موادی که گاز کمی تولید می‌کنند، باعث حفظ ثبات تعداد ذرات در اتاق‌های تمیز کلاس ۱–۱۰۰ می‌شوند؛ همچنین، عایق‌های فیبر کربنی، مصرف انرژی را کاهش می‌دهند بدون اینکه به جرم حرارتی اضافه شود. این گرمکن از طریق اتصالات استاندارد، در محفظه‌ها و کنترلرهای موجود نصب می‌شود؛ بنابراین پروفایل حرارتی مطابق با دستورالعمل‌ها خواهد بود، نه برعکس.</p>