Capteur de température pour outil de wafer
Pourquoi la chauffage par rayonnement infrarouge est supérieur au chauffage par air chaud pour le traitement des wafer
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Chauffage à température haute précision
Sur une ligne de 300 mm, le budget thermique n’est pas une simple suggestion : c’est une limite que l’on ne peut pas dépasser. Une déviation de...