Pièces détachées pour le traitement de wafer en ligne
Introduction
Voici la réalité du traitement des wafer : le temps d’activité est tout. Si la ligne de production s’arrête, tout s’arrête également....
Lampe de traitement thermique rapide (RTP)
Sur le sol de fabrication, une plaquette de 300 mm est remplie de milliers de puces, et le budget thermique est sacré. Un dérive de 2 °C pendant le...