הפסיקו לחמם את המכונה עצמה, והתחילו לחמם את החלקים שצריך לחמם. רוב הנורות באור אינפרא-אדום פשוט מפזרות חום לכל כיוון. הן פולטות חום בזווית של 360...

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 2 מעלות צלזיוס במהלך תהליך הייבוש של החומר הפוטורזיסטיבי אינו רק שינוי זניח – זו דרך ישירה להיווצרות פגמים בשבב. יש...

בקו הייצור, סטייה של 0.2°C באפיית הפוטורזיסט אינה סטייה קטנה. זו מהווה סבב שבור. אחידות תרמית ברמת הוופר קובעת את בקרת רוחב הקו, והתקציב התרמי חייב...