http://ir-heat-co.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on The Infrared Heating Company Hugo he Fri, 03 Jul 2026 08:35:13 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:35:13 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="מנורת אפייה לפוטורזיסט"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום אינו ערך שניתן לרשום בטבלה. שינוי כזה גורם לשינויים בעובי הסרט הפוטורזיסט, לאחיזה חלשה של הסרט למשטח, ולירידה באיכות המוצר לאחר החיפוש. עיצבנו את מנורות החימום שלנו כך שהן יפחיתו את השינויים האלה, כך שהתהליך יישאר במסגרת המפרטים הנדרשים – עבור כל וואף בנפרד.</p> <p><strong>מה חשוב בפועל</strong> אנו משתמשים בגופי פליטה באור קרוב-אינפרא-אדום, עם שליטה אספקטרלית קפדנית, כדי לחמם את הפוטורזיסט ישירות. דבר זה מפחית את העיכוב בחימום ומאפשר תגובה תרמית מהירה ויעילה יותר. בכל אזור החימום, האחידות בטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרתיות של התהליך נשמרת באותו טווח גם לאחר אלפי סיבובים. המכשיר מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ואנו מוודאים שאין יצירה של חלקיקים באזור המגע בין המכשיר לוואף. המכשיר מיועד לשימוש 24/7, כאשר המכשירים בשימוש יכולים לעבוד יותר מ-5,000 שעות ברציפות, כאשר הביצועים נשארים יציבים.</p> http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מנורת אפייה עדינה למעבדת תמונות"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, אל תראו בשלב החימום הרך כשלב הכנה בלבד. זהו שלב תרמי שמבטיח את רמת החומר הממס בחומר הפוטורזיסט, וכן את יציבות ההדבקה שלו לשבב. אם יהיה סטייה של 1 מעלה צלזיוס בטמפרטורה על פני השבב – או אזור קר באזור החימום – אז ייפגע השליטה הדרושה בממדים של השבב. רמת החוסר אחידות ברוחב הקווים עולה, וכתוצאה מכך נוצרים פגמים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בנורות NIR לשלב החימום הרך, מכיוון שהן מאפשרות אחידות ברמה של פחות ממילימטר אחד בשדה התרמי. גאומטרית המקור של האור והמחזירים מותאמים כך שהפרופיל התרמי יתאים לשבב, ולא למחמם עצמו. ניתן לשמור על אחידות בטמפרטורה של ±0.1 מעלה צלזיוס על פני כל שטח השבב, והחזרתיות של התהליך נשמרת גם בין אצוות שונות, מכיוון שהפלט של הנורה יציב והפרופיל התרמי ניתן לחיזוי.</p>