http://ir-heat-co.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on The Infrared Heating Company Hugo he Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="מנורת אינפרא אדום לאפיית פולימידים"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, חומר הפוטורזיסט מסוג פוליאימיד אינו יכול לעמוד ברמת השליטה בטמפרטורה שניתן להשיג באמצעות נורות רגילות. חימום עמום, אפילו בהבדל של חצי מעלה, גורם להגדלת עובי חומר הפוטורזיסט; לעומת זאת, חימום חזק מדי גורם להשארת שאריות לאחר תהליך החריטה. מה שנדרש הוא חימום אמין – עם עלייה מהירה בטמפרטורה, ועם יכולת שחזור מדויקת של התהליך. כמו כן, הציוד צריך לפעול בחדרי ניקיון גבוהים, מבלי להוסיף חלקיקים לתהליך.</p> <p>הנה מה חשוב באמת: נורות האינפרא-אדום שלנו משתמשות בגלים קצרים שמותאמים לספיגה של חומר הפוליאימיד. זה מאפשר חימום מהיר וללא מגע, עם אינרציה תרמית נמוכה. האחידות של טמפרטורת החימום נשמרת בטווח של ±0.1°C, והיכולת לשחזר את התהליך נשמרת בטווח של ±0.2°C. נורות אלו פועלות בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים, כפי שנבדק במקום. האפקטיביות של הנורות נשמרת לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5%. המערכת מיועדת לפעולה 24/7, עם קירור מבוקר שמשמר את האיזון התרמי.</p> http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מנורת אפייה עדינה למעבדת תמונות"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, אל תראו בשלב החימום הרך כשלב הכנה בלבד. זהו שלב תרמי שמבטיח את רמת החומר הממס בחומר הפוטורזיסט, וכן את יציבות ההדבקה שלו לשבב. אם יהיה סטייה של 1 מעלה צלזיוס בטמפרטורה על פני השבב – או אזור קר באזור החימום – אז ייפגע השליטה הדרושה בממדים של השבב. רמת החוסר אחידות ברוחב הקווים עולה, וכתוצאה מכך נוצרים פגמים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בנורות NIR לשלב החימום הרך, מכיוון שהן מאפשרות אחידות ברמה של פחות ממילימטר אחד בשדה התרמי. גאומטרית המקור של האור והמחזירים מותאמים כך שהפרופיל התרמי יתאים לשבב, ולא למחמם עצמו. ניתן לשמור על אחידות בטמפרטורה של ±0.1 מעלה צלזיוס על פני כל שטח השבב, והחזרתיות של התהליך נשמרת גם בין אצוות שונות, מכיוון שהפלט של הנורה יציב והפרופיל התרמי ניתן לחיזוי.</p>