http://ir-heat-co.com/he/tags/soft/ Recent content in Soft on The Infrared Heating Company Hugo he Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מנורת אפייה עדינה למעבדת תמונות"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, אל תראו בשלב החימום הרך כשלב הכנה בלבד. זהו שלב תרמי שמבטיח את רמת החומר הממס בחומר הפוטורזיסט, וכן את יציבות ההדבקה שלו לשבב. אם יהיה סטייה של 1 מעלה צלזיוס בטמפרטורה על פני השבב – או אזור קר באזור החימום – אז ייפגע השליטה הדרושה בממדים של השבב. רמת החוסר אחידות ברוחב הקווים עולה, וכתוצאה מכך נוצרים פגמים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בנורות NIR לשלב החימום הרך, מכיוון שהן מאפשרות אחידות ברמה של פחות ממילימטר אחד בשדה התרמי. גאומטרית המקור של האור והמחזירים מותאמים כך שהפרופיל התרמי יתאים לשבב, ולא למחמם עצמו. ניתן לשמור על אחידות בטמפרטורה של ±0.1 מעלה צלזיוס על פני כל שטח השבב, והחזרתיות של התהליך נשמרת גם בין אצוות שונות, מכיוון שהפלט של הנורה יציב והפרופיל התרמי ניתן לחיזוי.</p>