अपने वेफरों को सही तरीके से सुखाने हेतु…
जब आप वेफरों को सुखा रहे होते हैं, तो उद्देश्य बहुत ही सरल होता है – सब्सट्रेट पर जितनी हो सके, उतनी ऊर्जा पहुँचाना। आप तो मशीन के आवरण को गर्म करने हेतु एक भी वॉट ऊर्जा बर्बाद नहीं करना चाहते। इसीलिए हम सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। ये रिफ्लेक्टर, वह इन्फ्रारेड विकिरण पकड़ लेते हैं, जो अन्यथा मशीन के आवरण में ही फैल जाता।
सोने का उपयोग क्यों किया जाता है?
आप सोच सकते हैं कि पॉलिश्ड एल्यूमिनियम भी काम कर सकता है। लेकिन यह लंबी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण को प्रभावी ढंग से परावर्तित नहीं कर पाता। सोना अलग है… यह पूरे इन्फ्रारेड स्पेक्ट्रम में बेहतरीन रूप से परावर्तन करता है।
इसका परिणाम यह है कि अधिक फोटॉन वेफर की ओर वापस आते हैं। इससे ऊर्जा अधिक कुशलतापूर्वक वेफर पर पहुँचती है… इसलिए आपको उच्च ऊर्जा-स्तर आवश्यक ही नहीं है। यह आपके ऊर्जा-खर्च एवं हार्डवेयर के लिए फायदेमंद है।
आकार का महत्व
रिफ्लेक्टर को केवल एक दर्पण के रूप में ही नहीं, बल्कि ऊर्जा को निर्दिष्ट दिशा में भेजने हेतु एक उपकरण के रूप में ही सोचना चाहिए। हम इन रिफ्लेक्टरों को ऐसी आकृति में ही बनाते हैं कि वे वेफर पर सही जगह पर ही ऊर्जा भेज सकें।
इससे “कोल्ड स्पॉट” नहीं बनते, एवं ऊर्जा समान रूप से वेफर पर ही वितरित होती है। यदि आकृति में थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो ऊष्मा-असमानताएँ बन जाती हैं… और ऐसी स्थिति में सुखाने की प्रक्रिया विफल हो जाती है।
समस्याएँ
सोना तो बेहतरीन है, लेकिन यह कोमल होता है… इसलिए इसे कभी भी कठोर रसायनों या घर्षणकारी सामग्रियों से साफ न करें… ऐसा करने से इसकी परत नष्ट हो जाएगी, एवं इसकी कार्यक्षमता घट जाएगी। केवल अनुमोदित विलायकों का ही उपयोग करें।
इसके अलावा, ये रिफ्लेक्टर ऊर्जा को वेफर में भेजने में बहुत ही प्रभावी हैं… लेकिन इससे लैंप के माउंटिंग ब्रैकेट पर अधिक दबाव पड़ता है।
अपने कूलिंग फैनों की जाँच अवश्य करें… यदि वे ठीक से काम न करें, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा। सही हवा-प्रवाह सुनिश्चित करें… ऐसा करने से आपका समय एवं लागत दोनों कम हो जाएंगे।