Lampada per cottura lenta del fotoresist

Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800

Nella fase di litografia, non bisogna considerare il “soft bake” come una semplice fase di riscaldamento preliminare. Si tratta invece di una fase termica fondamentale, che permette di fissare il contenuto di solventi nel fotorestista e di garantire una buona adesione dello stesso al substrato. Anche un piccolo cambiamento di temperatura, di appena 1°C, può compromettere il controllo delle dimensioni dei componenti prodotti. Inoltre, aumenta la rugosità delle linee disegnate sul substrato, e ne conseguono dei difetti.

Morbido; Soffice on The Infrared Heating Company

Lampada per cottura lenta del fotoresist