Risoluzione dei problemi del riscaldatore del sistema RTP

Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800

Sul piano di lavoro, quando il riscaldatore RTP inizia a funzionare in modo impreciso, l’intero processo di produzione ne risente. Una temperatura di essiccazione troppo elevata o troppo bassa può compromettere la qualità del prodotto finito. Inoltre, il controllo della concentrazione delle particelle diventa difficile. I risultati sono scarti di prodotto, necessità di riparazioni e un consumo energetico eccessivo.

Cosa è davvero importante
Abbiamo progettato il riscaldatore RTP in modo che mantenga una uniformità della temperatura di ±0,1°C su tutta la superficie del wafer. Le lampade ad onde corte a base di halogeno permettono di ottenere tempi di essiccazione precisi e ripetibili, con un controllo efficace dei punti critici. L’uso di materiali a bassa emissione di gas mantiene costante il numero di particelle presenti nelle stanze pulite di classe 1–100. Inoltre, l’isolamento in fibra di carbonio riduce il consumo energetico senza aumentare la massa termica. Il riscaldatore può essere installato in qualsiasi camera di trattamento grazie a connettori standardizzati; in questo modo, il profilo termico rimane sotto controllo.

Risoluzione Dei Problemi on The Infrared Heating Company

Risoluzione dei problemi del riscaldatore del sistema RTP