Sensore di temperatura per strumento a wafer
Perché il riscaldamento a irraggiamento infrarosso è migliore del riscaldamento ad aria calda per le attività di lavorazione dei wafer Se state...
Riscaldatore a temperatura ad alta precisione
Su una linea da 300 mm, il “budget termico” non è qualcosa di suggeribile: si tratta di un limite che non può essere superato. Un errore di mezzo...