Sensore di temperatura per strumento a wafer

Sun, 19 Jul 2026 15:43:39 +0800

Perché il riscaldamento a irraggiamento infrarosso è migliore del riscaldamento ad aria calda per le attività di lavorazione dei wafer

Se state pensando di passare dal riscaldamento ad aria calda a quello a irraggiamento infrarosso nelle vostre operazioni di lavorazione avanzata, non consideratelo semplicemente come un miglioramento tecnologico. Pensate piuttosto a come ottenere più tempo per svolgere il lavoro.

L’aria calda funziona lentamente: si basa sul principio della convezione, il che significa che l’aria viene riscaldata e poi si spera che essa riesca a riscaldare anche il wafer. C’è sempre un ritardo nel processo di riscaldamento. Il riscaldamento a irraggiamento infrarosso invece funziona in modo diverso: utilizza energia radiante per riscaldare direttamente il substrato.

Riscaldatore a temperatura ad alta precisione

Wed, 17 Jun 2026 15:36:34 +0800

Su una linea da 300 mm, il “budget termico” non è qualcosa di suggeribile: si tratta di un limite che non può essere superato. Un errore di mezzo grado durante il processo di riscaldamento? Lo si noterà nel profilo termico del resistore fotolitografico. Se il processo di riscaldamento non rispetta i valori prestabiliti? Si formeranno delle impurità dopo lo sviluppo. Abbiamo progettato questi riscaldatori proprio per affrontare queste situazioni, visto che nelle fabbriche ogni minuto di stop imprevisto equivale a una perdita di produttività.

Temperatura on The Infrared Heating Company

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