センサー on The Infrared Heating Company

水素センサー製造用ヒーター

Mon, 27 Jul 2026 06:41:08 +0800

水素センサーにおける赤外線硬化処理の正しい方法
水素センサーを製造する際、乾燥や硬化の工程が成功か失敗かを決定づける重要なポイントとなります。環境に優しく、鉛を含まない仕上がりを実現するために、今日では半導体業界では赤外線を利用した硬化処理が一般的です。

スマートセンサーパッケージ赤外線

Tue, 21 Jul 2026 09:33:28 +0800

なぜ半導体パッケージングにおいて熱風の代わりに赤外線を使用するのか？スマートセンサーの処理に携わっている人なら、最も厄介なのがクロック速度だということを知っているでしょう。何でもかんでも処理に時間がかかります。そのため、多くの人々が熱風循環方式から離れ、赤外線加熱方式を採用しているのです。要するに、熱がどのように伝わるかということです。強制送風方式では、まず空気を温めてから部品を温める必要があるため、遅くなります。一方、赤外線なら、その中間過程を省けます。エネルギーを直接材料に送り込むことができるのです。 待つ時間の問題 大きな熱風オーブンを考えてみてください。それらは非常に大きな熱容量を持っています。チャンバ全体を予熱するのに時間がかかり、その後は単に空気が安定するのを待つだけです。これは本当に面倒です。一方、赤外線ランプなら、数秒で高温になります。センサーパッケージの硬化や乾燥を行う際、赤外線は非常に役立ちます。なぜなら、表面を通過して部品の内部に直接熱が届くからです。もう、熱が核心部分に届くのを待つ必要はありません。 床面積の節約 さらに、使用する装置のサイズも小さくなります。空気を温めるために巨大な断熱箱を使う必要もありません。赤外線を使えば、センサーが必要とする場所に正確に熱を与えることができます。そうすれば、敏感なシリコンチップが壊れる心配もありません。 デメリット ただし、赤外線も万能ではありません。何かしらの妥協が必要です。飽和した空気環境から得られる「熱の層」は失われます。もし部品の形状が複雑で深い凹みがある場合、熱が届かない部分ができてしまいます。そのような場所には、反射器を使ってエネルギーを送り込む必要があります。また、コンベヤーの速度も注意が必要です。赤外線の力は強力です。もしコンベヤーの速度が遅すぎると、基板が焼けてしまいます。しかし、大量生産の場合、サイクルタイムを短縮したいのであれば、これが現在の標準的な方法です。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Tue, 21 Jul 2026 09:26:29 +0800

なぜ無鉛半導体の硬化に赤外線を利用するのか
MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのは基板が汚染されることです。ウェーハは乾燥していて、清潔でなければなりません。それがあるからこそ、私たちは赤外線を利用するのです。赤外線は、煩わしい化学薬品や鉛を含む触媒を使わずに、水分や溶剤を除去できます。つまり、エネルギー自体がその役割を果たすのです。

物理的な仕組み
通常の対流式オーブンを考えてみてください。空気が加熱され、その空気が部品を温めます。しかし、これは遅いです。一方、赤外線は異なります。ランプから出る光は直接、ウェーハ上の水分子や溶剤に当たります。
MEMSの場合は短波長の赤外線を使用します。これにより、表面層を素早く通過し、迅速に蒸発させることができます。温度上昇もほぼ瞬時です。これは非常に大きな利点であり、「スキニング」という問題を防げます。つまり、表面が急激に乾燥し、下層の溶剤が閉じ込められるという問題です。

ウエハツール用温度センサー

Sun, 19 Jul 2026 15:43:36 +0800

なぜウエハー処理において赤外線加熱が熱風加熱より優れているのか
もし、従来の熱風循環方式から赤外線加熱方式に移行しようと考えているなら、それを単に「より良い装置」を手に入れるということだけでは考えないでください。むしろ、時間を節約できるという点に注目してください。