http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on The Infrared Heating Company Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 08:35:12 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:35:12 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="フォトレジスト焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイクの際に生じる0.5度程度のずれは、スプレッドシート上の数字としては表れません。しかし、それは線幅のばらつきや接着力の低下、エッチング後の歩留まりの低下として現れます。私たちは、このようなばらつきを<a href="https://o-yate.net">排除</a>するために、フォトレジストを加熱するランプを特別に設計しました。これにより、ウェーハごとにプロセスが規格内で維持されます。</p> http://ir-heat-co.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:37 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="フォトレジストソフトベイクランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクを単なるウォームアップとして扱ってはいけません。これは、溶剤の<a href="https://o-yate.com">含有量</a>を固定し、フォトレジストの接着を確実にするための重要な加熱工程です。ウェハ全体で1℃の温度差が生じたり、ランプの照射範囲に温度差があったりすると、重要な寸法制御が失われてしまいます。線幅のばらつきも増え、欠陥も発生します。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>ソフトベイクにはNIRランプを使用します。これにより、熱分布がマイクロメートル単位で<a href="https://o-yate.net">均一</a>になります。石英-ハロゲン発光体と反射器の構造が最適化されているため、熱分布はヒーターではなくウェハに沿って形成されます。ベイク面全体で、ウェハの温度を±0.1℃以内に保つことができ、ランプの出力が<a href="https://henruite.com">安定</a>しているため、ロット間の再現性も高く保たれます。</p>