http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E3%83%9D%E3%83%AA%E3%82%A4%E3%83%9F%E3%83%89/ Recent content in ポリイミド on The Infrared Heating Company Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ポリイミド焼成用赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、ポリイミド系フォトレジストは、通常のランプを使った場合とは異なる厳格な温度管理が必要です。わずか0.5度程度の温度変動でも、レジストの厚みが均一でなくなってしまいます。また、過度に高い温度で<a href="https://goldisgood.com">加熱</a>すると、エッチング後に残留物が残ってしまいます。必要なのは、信頼性の高い加熱システムです。急速な温度上昇、極めて高い再現性、そしてクリーンルーム内で使用しても粒子を発生させないハードウェアが求められます。</p>