ウエハの硬化処理を最大限に活用するために ウエハを硬化処理する際の目標は単純です。できるだけ多くの熱を基板上に与えることです。機械の筐体を温めるためにわずかな電力も無駄にしたくありません。そこで、金めっきされた反射板が使われます。これにより、通常なら筐体内に漏れてしまう赤外線が再び基板上に戻されま...

ダストの発生を防ぐ：なぜ金メッキされたIRランプが重要なのか 大量生産のファブでは、ランプが壊れると大問題です。単に部品を交換するだけで済むわけではなく、その後の処理も大変です。通常の石英管が破損すると、微小な粒子がウェーハ全体に飛散してしまいます。一度でも破損すれば、一括での製品が台無しになって...

バイオセンサーの製造において、適切な温度制御が不可欠です。ポリマーを硬化させたり、基材を安定させるためには適切な温度が必要ですが、過度に温度を上げすぎると、有機層が破壊されてしまいます。つまり、微妙なバランスが求められます。 そのため、私たちはもはや従来の対流式オーブンに頼ることはありません。その...

なぜ金メッキされたツインチューブ型赤外線ランプが、あなたのファブにとって重要なのか？ スマートファブを構築する際には、熱源が単に「熱くなる」というだけでは不十分です。それだけでは問題を引き起こす可能性があります。熱源は、データや生産ラインと調和して動かなければなりません。 そこで役立つのが、私たち...

クリーンルーム用のランプを安全に保つために（そして作業場所も清潔に保つために） クリーンルームで作業するときは、些細なミスでも許されません。わずかな汚染や電気的な不具合があれば、一日中の作業が台無しになってしまうかもしれません。最悪の場合、プロジェクト全体が台無しになってしまいます。そのため、赤外...

クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱はかなり厄介な問題です。単に物体を温めるだけではなく、空気を絶対に汚さないようにする必要があります。一般的なヒーターでは、微細な粒子が飛び散ったり、化学物質が漏れ出したりして、製薬品の品質を損なったり、ウェーハを台無しにしてしまう可能性があります。...

クリーンな環境を維持するために：UHPクォーツIRランプの真実 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。問題は単に空気フィルターだけではありません。本当の問題は、目に見えない微粒子です。一般的な加熱要素は、微粒子を放出するという欠点があります。そうなると、ワッフ...

ウェーハの汚染を未然に防ぐために 大量生産の半導体製造ラインにおいて、ランプ管が破損すると、それは単なる問題ではありません。それは悪夢そのものです。 通常の石英管が壊れると、単に動かなくなるだけでなく、シリコンウェーハに微粒子や化学物質が付着してしまいます。一度破損すれば、作ったウェーハは全て廃棄...

なぜ、ファブランプの石英ガラス製のシールドは単なる断熱材以上の役割を果たすのか ほとんどの人は、ファブランプに使われている石英ガラス製のシールドを、単なる断熱材だと思っています。しかし、実際にはもっと重要な役割があります。このシールドは、高電圧の電流が機器の筐体内部に直接流れ込むのを防ぐための重要...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイクの際に生じる0.5度程度のずれは、スプレッドシート上の数字としては表れません。しかし、それは線幅のばらつきや接着力の低下、エッチング後の歩留まりの低下として現れます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、フォトレジストを加熱するランプを...

リソグラフィーの工程においては、ポリイミド系フォトレジストは、通常のランプを使った場合とは異なる厳格な温度管理が必要です。わずか0.5度程度の温度変動でも、レジストの厚みが均一でなくなってしまいます。また、過度に高い温度で加熱すると、エッチング後に残留物が残ってしまいます。必要なのは、信頼性の高い...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクを単なるウォームアップとして扱ってはいけません。これは、溶剤の含有量を固定し、フォトレジストの接着を確実にするための重要な加熱工程です。ウェハ全体で1℃の温度差が生じたり、ランプの照射範囲に温度差があったりすると、重要な寸法制御が失われてしまいます。線幅のば...

リソグラフィー工程において、フォトレジストを焼成する際に2℃もの温度変動が生じると、それは単なるバラつきではなく、チップに欠陥が生じる直接の原因となります。ウェーハの乾燥や焼成処理では、メンテナンス上の基準ではなく、工程自体の熱的制約を守る必要があります。私たちは、そのような現実に合わせてウェーハ...

製造現場においては、ソフトベイクやハードベイクの工程では、精度を確保することが重要です。わずか2度の温度変動でも、部品の寸法に影響を与えますし、粒子の存在も全体の品質を損なう可能性があります。そのため、この工程で求められる厳格な基準に合わせて、二重チューブ式の赤外線ヒーターを設計しました。 肝心な...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃程度の温度変動があるだけで、多くのウエハが廃棄処分になってしまいます。残留水分も問題です。それによって、ウエハの表面に不均一な加熱が生じ、パターンの崩れやその他の欠陥が発生し、結果としてコストが増えてしまいます。私たちは、ウエハが加熱される部位...

ファブフロアでは、熱ドリフトが警告ラベルで示されることはない。トラック上のライン幅の逸脱、洗浄後のスカムエッジ、あるいはパッケージ硬化後に発生する剥離として現れる。リソグラフィおよびパッケージングにおいて、サーマルバジェットは選択肢ではなく、必ず守る必要がある。これを超えれば、その代償を払うことに...

ファブフロアでは、300mmウェハに数千のダイが詰め込まれており、サーマルバジェットは神聖です。フォトレジストのソフトベイク中やスパイクアニーリング中に2℃の偏差があると、欠陥がパターンに焼き付けられ、CD均一性が規格から外れ、多くの良好なダイが無駄になります。これを防ぐために、ウェハレベルの温度...

ファブフロアでは、時間は誰のためにも遅くはなりません。リソグラフィセルは次のベーク待ちでバックアップが発生し、エッチングツールは熱安定性が回復するまでアイドル状態になります。計画外の熱損失の1分1秒が不良品とロットの遅延につながります。IRランプが故障した場合、特注品を待つ余裕はありません。同じ温...