http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E5%87%A6%E7%90%86/ Recent content in 処理 on The Infrared Heating Company Hugo ja Mon, 06 Jul 2026 07:57:53 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ Mon, 06 Jul 2026 07:57:53 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ加工用スペアパーツ オンライン"></p> <h2 id="是非を言わせて">是非を言わせて</h2> <p>ウェーハ処理においては、稼働時間こそが最も重要です。もしラインが停止してしまうと、すべてが止まってしまいます。それが現実です。<br> だからこそ、私たちはハロゲンヒーターランプを開発する際、一つの目的だけを念頭に置いています。それは、お客様のラインを常に稼働させ続けることです。当社のスペア部品は、直接交換<a href="https://o-yate.com">可能</a>な設計になっており、最新の半導体装置の熱特性や寸法要件に正確に対応しています。</p> http://ir-heat-co.com/ja/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="迅速熱処理 RTP ランプ"></p> <p>ファブフロアでは、300mmウェハに数千のダイが詰め込まれており、サーマルバジェットは神聖です。フォトレジストのソフトベイク中やスパイクアニーリング中に2℃の偏差があると、欠陥がパターンに焼き付けられ、CD均一性が規格から外れ、多くの良好なダイが無駄になります。これを防ぐために、ウェハレベルの温度制御を確保するために、繰り返し可能な急速熱処理（RTP）ランプシステムに依存しています。</p>