http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E5%AE%89%E3%81%84/ Recent content in 安い on The Infrared Heating Company Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:37:49 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ Thu, 25 Jun 2026 04:37:49 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="安価なウェーハ乾燥用電球"></p> <p>リソグラフィー工程において、フォトレジストを焼成する際に2℃もの温度変動が生じると、それは単なるバラつきではなく、チップに欠陥が生じる直接の<a href="https://o-yate.com">原因</a>となります。ウェーハの乾燥や焼成処理では、メンテナンス上の基準ではなく、工程自体の熱的制約を守る必要があります。私たちは、そのような現実に合わせてウェーハ乾燥用のランプを設計しました。コストは低いですが、精度に関しては決して妥協しません。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> このランプは、石英製のケースの中に短波長のハロゲン要素を内蔵しており、迅速かつ安定したIR信号を出力します。これにより、スピンドライ処理や焼成処理が効率的に行えます。ウェーハ全体の温度分布は±0.1℃以内に抑えられるため、重要な寸法も<a href="https://o-yate.net">規格通</a>りに保たれます。また、粒子の発生もほとんどないため、クリーンルームのクラス1～100の基準が維持されます。標準的な電圧で動作し、一般的な工具にも簡単に取り付けられ、5,000時間以上使用しても出力の安定性は5％以下しか低下しません。</p>