http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on The Infrared Heating Company Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 15:36:34 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ Wed, 17 Jun 2026 15:36:34 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="高精度温度ヒーター"></p> <p>300mmラインでは、熱バランスは単なる<a href="https://o-yate.net">目安</a>ではなく、絶対に超えてはいけない基準値です。ソフトベイク時に温度が0.5度程度変動しても、その影響はフォトレジストのプロファイル上に現れます。ハードベイク時に設定値を達成できなければ、現像後に汚れが発生します。私たちは、このような状況に対応するためにこれらのヒーターを設計しました。なぜなら、製造現場では、予期しない<a href="https://goldisgood.com">停止時間</a>はすべて歩留まりに悪影響を与えるからです。</p> <p><strong><a href="https://henruite.com">技術的</a>に重要な点</strong> ウェーハ全体での温度均一性は±0.1°C以内に保たれており、昇温速度も規定通りに制御されています。チャンバーには石英を用いた短波長赤外線素子が使われているため、粒子が混入することはありません。クリーンルーム内の粒子数もClass 1～100の<a href="https://o-yate.com">範囲</a>で安定しています。</p>