http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E8%BF%85%E9%80%9F%E3%81%AA/ Recent content in 迅速な on The Infrared Heating Company Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="迅速熱処理 RTP ランプ"></p> <p>ファブフロアでは、300mmウェハに数千のダイが詰め込まれており、サーマルバジェットは神聖です。フォトレジストのソフトベイク中やスパイクアニーリング中に2℃の偏差があると、欠陥がパターンに焼き付けられ、CD均一性が規格から外れ、多くの良好なダイが無駄になります。これを防ぐために、ウェハレベルの温度制御を確保するために、繰り返し可能な急速熱処理（RTP）ランプシステムに依存しています。</p>