http://ir-heat-co.com/ja/tags/%E9%99%A4%E5%8E%BB/ Recent content in 除去 on The Infrared Heating Company Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:26:53 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 23:26:53 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ除湿ランプ"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃程度の温度変動があるだけで、多くのウエハが廃棄処分になってしまいます。残留水分も問題です。それによって、ウエハの<a href="https://o-yate.net">表面</a>に不均一な加熱が生じ、パターンの崩れやその他の<a href="https://o-yate.com">欠陥</a>が発生し、結果としてコストが増えてしまいます。私たちは、ウエハが加熱される部位でこのような変動要因を排除するために、ウエハ用の水分除去装置を開発しました。</p>