http://ir-heat-co.com/ja/tags/ce/ Recent content in CE on The Infrared Heating Company Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 03:45:03 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/ce-approved-semiconductor-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:45:03 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/ce-approved-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="CE認証済み半導体ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、フォトレジストのベイク中に0.3°Cの温度変動があるだけで、エッチング工程に至る前に大量のウェハが不良となる。熱予算は妥協しない。この現実に対応するために、CE認証取得済みの半導体用ヒーターを開発した。焼成ウィンドウ全体で±0.1°Cのウェハレベルの均一性を維持し、重要寸法が温度ドリフトではなくレシピ通りに制御される。</p>