http://ir-heat-co.com/ja/tags/e/ Recent content in E on The Infrared Heating Company Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 03:26:01 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:26:01 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Eビームレジスト焼成ヒーター"></p> <h1 id="fabフロアにおけるeビームレジストのベイクはウォームアップではないプロセスの基準点である">FabフロアにおけるEビームレジストのベイクはウォームアップではない。プロセスの基準点である。</h1> <p>ホットプレートで2℃のドリフトが発生すれば、クリティカルディメンションのバイアスが変動し、オーバーレイがずれ始める。その結果、スケジュールが遅延しながらリソグラフィセルの歩留まり回復を追いかけることになる。</p>