http://ir-heat-co.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on The Infrared Heating Company Hugo ja Tue, 21 Jul 2026 09:26:29 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 09:26:29 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>なぜ無鉛半導体の硬化に赤外線を利用するのか<br> MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのは基板が<a href="https://o-yate.net">汚染</a>されることです。ウェーハは乾燥していて、清潔でなければなりません。それがあるからこそ、私たちは赤外線を利用するのです。赤外線は、煩わしい化学薬品や鉛を含む触媒を使わずに、水分や溶剤を除去できます。つまり、エネルギー自体がその役割を果たすのです。</p> <p><strong>物理的な仕組み</strong><br> 通常の対流式オーブンを考えてみてください。空気が加熱され、その空気が部品を温めます。しかし、これは遅いです。一方、赤外線は異なります。ランプから出る光は直接、ウェーハ上の水分子や溶剤に当たります。<br> MEMSの場合は短波長の赤外線を使用します。これにより、表面層を素早く通過し、迅速に蒸発させることができます。温度上昇もほぼ瞬時です。これは非常に大きな利点であり、「スキニング」という問題を防げます。つまり、表面が急激に乾燥し、下層の溶剤が閉じ込められるという問題です。</p>