http://ir-heat-co.com/ja/tags/rtp/ Recent content in RTP on The Infrared Heating Company Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/ja/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="RTPシステムのヒーターのトラブルシューティング"></p> <p>フロア上で、RTPヒーターの温度が不安定になると、ウェーハ全体の温度も変動してしまいます。わずかでも温度がずれるだけで、フォトレジストの特性が変わってしまいます。また、過度に高温または低温で焼成を行うと、CDの精度をコントロールするのが難しくなります。その結果、スクラップや再作業が発生し、回復不可能な熱的損失が生じます。</p>