http://ir-heat-co.com/ko/tags/%EB%B6%80%EB%93%9C%EB%9F%AC%EC%9A%B4/ Recent content in 부드러운 on The Infrared Heating Company Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 ‘소프트 베이크’를 단순한 예열 과정으로 여겨서는 안 됩니다. 이는 용매의 양을 고정시키고 포토레지스트가 웨이퍼에 제대로 부착되도록 하는 중요한 열처리 과정입니다. 웨이퍼 전체에 1°C 정도의 온도 차이가 생기거나, 램프의 발광 부분에 온도 차이가 생기면 치명적인 크기 제어 문제가 발생합니다. 선의 굵기도 불규칙해지고, 결함도 발생하게 됩니다.</p>