http://ir-heat-co.com/ko/tags/%EC%88%98%EB%B6%84/ Recent content in 수분 on The Infrared Heating Company Hugo ko Mon, 22 Jun 2026 23:26:53 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 23:26:53 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="와이퍼 수분 제거 램프"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 많은 양의 웨이퍼가 폐기물이 되어버립니다. 잔여 수분도 문제인데, 이로 인해 웨이퍼 표면에 결함이 생기거나 패턴이 망가질 수 있습니다. 이러한 결함들은 나중에야 발견되지만, 그로 인한 손실은 막대합니다. 저희는 웨이퍼와 열원이 만나는 지점에서 이러한 변수들을 제거하기 위해 특별한 건조 장치를 개발했습니다.</p>