http://ir-heat-co.com/ko/tags/%EC%8B%A0%EC%86%8D%ED%95%9C/ Recent content in 신속한 on The Infrared Heating Company Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 04:01:10 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:10 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="고속 열 처리 (RTP) 램프"></p> <h1 id="공정-내의-실제-중요성">공정 내의 실제 중요성</h1> <p>300mm 웨이퍼에는 수천 개의 다이가 포장되어 있으며, 열 예산은 매우 중요합니다. 포토레지스트 소프트 베이크 또는 스파이크 어닐 동안 2°C의 드리프트는 결함을 패턴에 주입하고 CD 균일성을 규격에서 벗어나게 하며, 많은 양질의 다이를 손실하게 할 수 있습니다. 우리는 반복 가능하고 웨이퍼 수준의 온도 제어를 통해 이러한 일이 발생하지 않도록 빠른 열 처리(RTP) 램프 시스템에 의존합니다.</p>