http://ir-heat-co.com/ko/tags/%EC%A0%95%EB%B0%80%EB%8F%84/ Recent content in 정밀도 on The Infrared Heating Company Hugo ko Wed, 17 Jun 2026 15:36:34 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ Wed, 17 Jun 2026 15:36:34 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="고정밀 온도 히터"></p> <p>300mm 공정에서는 열 관리가 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 원칙입니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.5도만이라도 벗어나면, 그 영향은 포토레지스트의 프로파일에 나타납니다. 하드 베이크 과정에서 설정된 온도에 도달하지 못하면, 현상 과정 후에 이물질이 생길 수 있습니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 이러한 히터들을 설계했습니다. 왜냐하면 반도체 제조 공장에서는 계획되지 않은 가동 중단 시간이 발생할 때마다 생산성이 저하되기 때문입니다.</p>