http://ir-heat-co.com/ko/tags/%ED%8F%B4%EB%A6%AC%EC%9D%B4%EB%AF%B8%EB%93%9C/ Recent content in 폴리이미드 on The Infrared Heating Company Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="폴리이미드 베이크용 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 폴리이미드 포토레지스트가 일반적인 램프를 사용할 때와 같은 수준의 열 제어를 견딜 수 없습니다. 반도그레이드만큼의 온도 변화라도 발생하면 포토레지스트의 두께가 달라지고, 너무 큰 온도 변화가 생기면 에칭 후에 이물질이 남게 됩니다. 따라서 신뢰할 수 있는 열 처리가 필요합니다. 즉, 빠른 온도 상승 속도와 정확한 반복성, 그리고 클린룸 환경에서도 입자가 발생하지 않는 하드웨어가 필요합니다.</p>