http://ir-heat-co.com/ko/tags/e/ Recent content in E on The Infrared Heating Company Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 03:26:01 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:26:01 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="E빔 레지스트 베이킹 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공장 현장에서 E-빔 레지스트 베이킹은 단순한 예열이 아니다. 이는 공정의 기준점이다.<br> 히트 플레이트에서 2°C 편차가 발생하면, 치수 편차가 이동한다. 오버레이가 흔들리기 시작한다. 그러면 일정이 밀리는 동안 리소그래피 셀에서 수율을 다시 맞추기 위해 쫓아가게 된다.</p>