http://ir-heat-co.com/ko/tags/rtp/ Recent content in RTP on The Infrared Heating Company Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/ko/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="RTP 시스템 히터의 문제 해결"></p> <p>바닥면에서 RTP 히터의 온도가 일정하지 않아지면, 웨이퍼 전체의 온도도 계속 변동합니다. 약간의 온도 변동만으로도 포토레지스트의 성능에 영향을 미칩니다. 너무 높거나 낮은 온도에서의 가열은 CD의 정밀도를 떨어뜨립니다. 그 결과, 폐기물이 발생하고 재작업이 필요해지며, 회복할 수 없는 에너지 손실도 생깁니다.</p>