Hentikan penggunaan cara pemanasan dinding – gantikannya dengan cara pemanasan yang lebih efektif.
Kebanyakan elemen pemanas membuang haba ke merata-rata tempat, dan ini merupakan masalah besar dalam bilik pemprosesan semikonduktor. Akibatnya, dinding-dinding di dalam bilik tersebut menjadi terlalu panas, sehingga pelindung peralatan yang mahal itu rosak. Ini bukan sahaja membahayakan peralatan tersebut, tetapi juga membahayakan keselamatan orang yang bekerja di mesin tersebut.
Kami telah mencari cara yang lebih baik: lampu pemanas inframerah yang berorientasikan secara tepat.
Cara ia berfungsi
Lampu pemanas jenis ini berfungsi seperti pemanas udara biasa – ia hanya memanaskan udara di sekelilingnya. Namun, lampu inframerah berbeza. Ia mengeluarkan radiasi elektromagnetik secara lurus ke arah permukaan wafer. Dengan menyesuaikan panjang gelombang dan menggunakan reflektor yang sesuai, kita dapat memastikan tenaga tersebut tertumpu pada permukaan wafer sahaja. Dengan cara ini, haba tidak akan merebak ke dinding bilik tersebut.
Kelebihannya
Dengan cara ini, badan peralatan akan tetap sejuk, dan wafer akan mencapai suhu yang diinginkan dengan lebih cepat.
Komponen pendukung
Kami membina lampu ini agar mampu menahan beban haba yang tinggi. Kami menggunakan kapsul kuarsa dan filamen halogen kerana ia boleh dihidupkan dan dimatikan dengan cepat, sekaligus membolehkan kawalan suhu yang tepat. Anda boleh menyambungkannya ke sistem PID sedia ada untuk memastikan toleransi suhu yang tepat.
Namun, ada satu kelemahan
Oleh kerana lampu ini menghasilkan tenaga yang sangat tinggi dalam ruang yang kecil, ia memerlukan penjagaan yang rapi. Jika reflektornya kotor atau tidak sejajar, maka akan timbul titik-titik panas pada permukaan wafer. Anda perlu memastikan laluan cahaya tersebut tetap bersih, agar wafer tidak rosak.
Lebih baik untuk peralatan, lebih baik untuk pekerja
Mencegah dinding daripada terlalu panas bukan hanya untuk melindungi peralatan, tetapi juga untuk melindungi keselamatan pekerja yang bekerja di mesin tersebut. Apabila badan peralatan tetap sejuk, anda tidak perlu risau tentang risiko terbakar semasa proses penyelenggaraan. Selain itu, anda juga dapat mengurangkan penggunaan tenaga untuk memanaskan udara dan rangka mesin. Energi tersebut digunakan dengan tepat, iaitu pada permukaan wafer.