Lampu untuk memanaskan bahan photoresist
Di bahagian proses litografi, perubahan sudut sebanyak setengah darjah semasa proses memanaskan bahan fotoresist bukanlah angka yang boleh dilihat...
Lampu pengeringan photoresist yang lembut
Di bahagian litografi, jangan anggap proses “soft bake” sebagai langkah pemanasan semata-mata. Sebenarnya, ia merupakan langkah termal yang penting...