http://ir-heat-co.com/ms/tags/rtp/ Recent content in RTP on The Infrared Heating Company Hugo ms Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/ms/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800 http://ir-heat-co.com/ms/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Menyelesaikan masalah pemanas sistem RTP"></p> <p>Di permukaan lantai, apabila pemanas RTP mula bergerak sedikit sebanyak, keseluruhan proses pembakaran akan terjejas. Pembakaran yang dilakukan secara perlahan atau terlalu cepat akan merosakkan profil fotoresist tersebut. Pembakaran yang berlebihan atau terlalu sejuk pula akan menyebabkan kawalan ketepatan CD menjadi sukar. Akibatnya, bahan yang dihasilkan akan rosak, perlu diperbaiki semula, dan penggunaan tenaga juga akan meningkat tanpa dapat dikembalikan.</p> <p><strong>Apa yang sebenarnya penting</strong><br> Kami membina pemanas RTP agar suhu di seluruh permukaan wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pembakaran. Lampu halogen gelombang pendek membolehkan proses pembakaran berlangsung dengan cepat dan konsisten, sehingga profil fotoresist tetap stabil. Komponen kuarsa serta bahan yang mengeluarkan gas yang sedikit memastikan jumlah zarah dalam bilik bersih kelas 1–100 kekal stabil. Selain itu, bahan penebat karbon fiber membantu mengurangkan penggunaan tenaga tanpa menambah beban haba. Pemanas ini boleh dipasang dalam ruang pemprosesan yang sedia ada menggunakan penyambung standard, supaya profil haba dapat dikawal dengan tepat.</p>